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| 參數(shù)\型號(hào) | VPSF-1810 | VPSF-2012 | VPSF-3012 |
| 工作區(qū)尺寸 D×H（mm） | 1800×1000 | 2000×1200 | 3000×1200 |
| 最高溫度（℃） | 1900 | ||
| 溫度均勻性（℃） | ±10 | ||
| 極限真空度（Pa） | 5 | ||
| 最高壓力（MPa） | 2 | ||
| 壓升率（pa/h） | 5 | ||
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
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