<p id="frvln"></p>
采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號(hào) | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作區(qū)尺寸W×H×L（mm） | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| 最高溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
參數(shù)\型號(hào)
VCVD-0305-SIC
VCVD-0608-SIC
VCVD-0812-SIC
VCVD-1120-SIC
VCVD-1520-SIC
工作區(qū)尺寸D×H（mm）
300×500
600×800
800×1200
1100×2000
1500×2000
最高溫度（℃）
1500
1500
1500
1500
1500
溫度均勻性（℃）
±5
±7.5
±7.5
±10
±10
極限真空度（Pa）
1-100
1-100
1-100
1-100
1-100
壓升率（Pa/h）
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
加熱方式
電阻
電阻
電阻
電阻
電阻
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
湘公網(wǎng)安備 43010302000744號(hào) 湘ICP備17010606號(hào)-4 網(wǎng)站地圖
廣告法聲明
首頁
產(chǎn)品
服務(wù)
案例
新聞
我們
