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      氮化鋁燒結爐(立式)
      氮化鋁燒結爐(立式)
      產品描述:
      氮化鋁燒結爐(立式)主要用于半導體領域的氮化鋁等陶瓷胚體和制品的氣氛燒結、真空燒結
      應用范圍:
      載盤、導軌和工件臺、機械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導熱基板、加熱器、結構件。

      氮化鋁燒結爐(立式)技術特征

      采用特殊的爐膽結構和加熱器布置,爐溫均勻性好;

      全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;

      可具備真空燒結、負壓脫脂燒結、載氣脫脂燒結等功能;

      可選配脫脂系統,實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理;

      適于工藝氣氛:N2/Ar/H2

      氮化鋁燒結爐(立式)產品規格

      參數\型號VSN-0612VSN-0812VSN-1015
      工作區尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ900×1700φ1000×1500
      最高溫度(℃)1500-20001500-20001500-2000
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.67

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

      氮化鋁燒結爐(立式)配置選擇

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質:石墨/CFC/陶瓷

      熱電偶:K/N/C/S分度號(鎢套管/鉬套管/陶瓷管)

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      高性能陶瓷熱工裝備

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