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      氮化鋁燒結(jié)爐(立式)
      氮化鋁燒結(jié)爐(立式)
      產(chǎn)品描述:
      氮化鋁燒結(jié)爐(立式)主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的氮化鋁等陶瓷胚體和制品的氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)
      應(yīng)用范圍:
      載盤、導(dǎo)軌和工件臺(tái)、機(jī)械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導(dǎo)熱基板、加熱器、結(jié)構(gòu)件。

      氮化鋁燒結(jié)爐(立式)技術(shù)特征

      采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置,爐溫均勻性好;

      全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

      可具備真空燒結(jié)、負(fù)壓脫脂燒結(jié)、載氣脫脂燒結(jié)等功能;

      可選配脫脂系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理;

      適于工藝氣氛:N2/Ar/H2

      氮化鋁燒結(jié)爐(立式)產(chǎn)品規(guī)格

      參數(shù)\型號(hào)VSN-0612VSN-0812VSN-1015
      工作區(qū)尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ900×1700φ1000×1500
      最高溫度(℃)1500-20001500-20001500-2000
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.67

      以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

      氮化鋁燒結(jié)爐(立式)配置選擇

      爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

      爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC/陶瓷

      熱電偶:K/N/C/S分度號(hào)(鎢套管/鉬套管/陶瓷管)

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