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      關鍵詞:真空脫脂壓力燒結爐壓力燒結爐真空燒結爐陶瓷燒結爐
      氮化硅壓力燒結爐(立式)
      氮化硅壓力燒結爐(立式)
      產品描述:
      氮化硅壓力燒結爐(立式)主要用于半導體領域氮化硅陶瓷制品的真空燒結和氣壓燒結等。
      應用范圍:
      氮化硅陶瓷球、軸承、導熱基板、平臺、導軌、刀具、結構件等。

      氮化硅壓力燒結爐(立式)技術特征

      采用特殊的爐膽結構和加熱器布置,爐溫均勻性好;

      全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;

      可具備真空燒結、壓力燒結、負壓脫脂燒結等功能;

      具有超溫超壓等故障報警,機械式自動壓力保護,動作互鎖等功能,設備安全性高;

      可選配脫脂系統,實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理;

      適于工藝氣氛:N2/Ar/H2

      氮化硅壓力燒結爐(立式)產品規格

      型號/參數VPSF-0612VPSF-0917VPSF-1015VPSF-1120
      工作區尺寸
      W×H×L(mm)
      φ600×1200φ900×1700φ1000×1500φ1100×2000
      最高溫度(℃)2000200020002000
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
      最高壓力(MPa)<10<10<10<10

      氮化硅壓力燒結爐(立式)配置選擇

      結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼/Q345

      保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

      熱電偶:K/N/C/S分度號(鎢套管/陶瓷套管)

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