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      關(guān)鍵詞:真空脫脂壓力燒結(jié)爐壓力燒結(jié)爐真空燒結(jié)爐陶瓷燒結(jié)爐
      氮化硅壓力燒結(jié)爐(立式)
      氮化硅壓力燒結(jié)爐(立式)
      產(chǎn)品描述:
      氮化硅壓力燒結(jié)爐(立式)主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域氮化硅陶瓷制品的真空燒結(jié)和氣壓燒結(jié)等。
      應(yīng)用范圍:
      氮化硅陶瓷球、軸承、導(dǎo)熱基板、平臺、導(dǎo)軌、刀具、結(jié)構(gòu)件等。

      氮化硅壓力燒結(jié)爐(立式)技術(shù)特征

      采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置,爐溫均勻性好;

      全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

      可具備真空燒結(jié)、壓力燒結(jié)、負(fù)壓脫脂燒結(jié)等功能;

      具有超溫超壓等故障報警,機(jī)械式自動壓力保護(hù),動作互鎖等功能,設(shè)備安全性高;

      可選配脫脂系統(tǒng),實現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理;

      適于工藝氣氛:N2/Ar/H2

      氮化硅壓力燒結(jié)爐(立式)產(chǎn)品規(guī)格

      型號/參數(shù)VPSF-0612VPSF-0917VPSF-1015VPSF-1120
      工作區(qū)尺寸
      W×H×L(mm)
      φ600×1200φ900×1700φ1000×1500φ1100×2000
      最高溫度(℃)2000200020002000
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
      最高壓力(MPa)<10<10<10<10

      氮化硅壓力燒結(jié)爐(立式)配置選擇

      結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼/Q345

      保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

      熱電偶:K/N/C/S分度號(鎢套管/陶瓷套管)

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