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      關鍵詞:陶瓷燒結爐碳化硅陶瓷燒結爐氮化鋁燒結爐氧化鋯燒結爐真空燒結爐 
      碳化硅燒結爐(立式)
      碳化硅燒結爐(立式)
      產品描述:
      碳化硅燒結爐(立式)主要用于半導體領域的碳化硅陶瓷制品的真空燒結、氣氛燒結。
      應用范圍:
      碳化硅陶瓷平臺、導軌、方鏡、反射鏡、晶舟、槳、爐管、吸盤、卡盤、機械臂、聚焦環、刻蝕環、流化床反應容器等。

      碳化硅燒結爐(立式)技術特征

      可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

      采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術,能在高溫條件下長時間使用;

      采用特殊的高溫紅外測量技術,控溫準確,誤差小;

      全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;

      多級高效尾氣處理系統,環境友好,易清理;

      可選配脫脂系統,實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理;

      適于工藝氣氛:N2/Ar。

      碳化硅燒結爐(立式)產品規格

      參數\型號VSC-0612VSC-0810VSC-1015VSC-1315VSC-1520
      工作區尺寸 D×H(mm)φ600×1200φ800×1000φ1000×1500φ1300×1500φ1500×2000
      最高溫度(℃)1500-24001500-24001500-24001500-24001500-2400
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.67

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

      碳化硅燒結爐(立式)配置選擇

      結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

      爐門鎖緊方式:手動/自動

      爐殼材質:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質:等靜壓石墨/CFC/陶瓷

      熱電偶:K/N/C/S分度號

      紅外儀:單比色/雙比色

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      高性能陶瓷熱工裝備

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