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      高溫粉體合成爐
      高溫粉體合成爐
      產品描述:
      高溫粉體合成爐主要用于半導體領域的陶瓷粉體的合成。
      應用范圍:
      高純碳化硅、碳化硼、碳化鋯、氮化硅、氮化硼、氮化鋁等粉體的制備。

      高溫粉體合成爐技術特征

      高溫粉體合成爐產品規格

      型號/參數HPSF-050515HPSF-060615HPSF-060618HPSF-080825
      工作區尺寸
      W×H×L(mm)
      500×500×1500600×600×1500600×600×1800800×800×2500
      最高溫度(℃)1800~24001800~24001800~24001800~2400
      溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
      最高壓力(MPa)<0.11/2<0.11/2<0.11/2<0.11/2

      以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。


      高溫粉體合成爐配置選擇

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      高性能陶瓷熱工裝備

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