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采用先進(jìn)的進(jìn)控制技術(shù)，能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動小；
多通道工藝氣路，配合旋轉(zhuǎn)料臺，無沉積死角；
多級尾氣處理系統(tǒng)，能高效處理腐蝕性尾氣、固體副產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配最新設(shè)計的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時間長，維修率低；
適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。
| 參數(shù)\型號 | VCVD-0305-BN | VCVD-0608-BN | VCVD-0612-BN | VCVD-0812-BN | VCVD-1015-BN | VCVD-1218-BN | VCVD-1315-BN | VCVD-1520-BN |
| 工作區(qū)尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1000×1500 | 1200×1800 | 1300×1500 | 1500×2000 |
| 最高溫度（℃） | 2000 | |||||||
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±20 | |||||||
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | |||||||
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | |||||||
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
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