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      晶體高溫?zé)崽幚頎t
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      產(chǎn)品描述:
      晶體高溫?zé)崽幚頎t主要用于晶體制品在保護(hù)氣氛下的高溫純化處理
      應(yīng)用范圍:
      晶體制品

      晶體高溫?zé)崽幚頎t技術(shù)特征

      電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

      電阻爐采用頂立科技專(zhuān)屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用,也可采用感應(yīng)加熱方式;

      可選配全密閉馬弗室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

      多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;

      適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar。

      晶體高溫?zé)崽幚頎t產(chǎn)品規(guī)格

      參數(shù)\型號(hào)HVG-100510HVG-130515HVG-151530HVG-201840VVG-1120VVG-1520VVG-2020VVG-3012
      工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×500×10001300×500×15001500×1500×30002000×1800×40001100×20001500×20002000×20003000×1200
      最高溫度(℃)20002000200020002000200020002000
      溫度均勻性(℃)±5±7.5±10±15±10/±15±10/±15±15/±20±10/±15
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

      以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

      晶體高溫?zé)崽幚頎t配置選擇

      結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén);立式-上出料/下出料

      爐門(mén)鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

      爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

      熱電偶:C分度號(hào)

      紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色

      真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

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      半導(dǎo)體材料熱工裝備

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