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      真空高溫純化爐
      真空高溫純化爐
      產(chǎn)品描述:
      用于石墨粉體、石墨制品、保溫材料等材料的高溫提純處理。
      應(yīng)用范圍:
      高純石墨粉體、高純石墨制品、高純纖維保溫材料等。雜質(zhì)含量:≤5ppm(石墨)、≤20ppm(碳纖維保溫材料)。

      真空高溫純化爐技術(shù)特征

      可實(shí)現(xiàn)高溫法與化學(xué)法相結(jié)合的提純工藝;

      電阻爐采用頂立科技專(zhuān)屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在2600℃條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用;

      電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

      采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù),控溫準(zhǔn)確,誤差小;

      采用感應(yīng)加熱形式,最高溫度可達(dá)3000℃,適用于高溫法提純;

      適于工藝氣氛:真空/N2/Ar/CH4/H2/工藝氣氛。

      真空高溫純化爐產(chǎn)品規(guī)格

      臥式真空高溫純化爐
      參數(shù)\型號(hào)HPF-111115HPF-131320HPF-161635HPF-161670HPF-201840
      工作區(qū)尺寸
      W×H×L(mm)
      1100×1100×15001300×1300×20001600×1600×35001600×1600×70002000×1800×4000
      最高溫度(℃)2500
      溫度均勻性(℃)±5~±20
      極限真空度(Pa)1-100
      壓升率(Pa/h)0.67


      立式真空高溫純化爐
      參數(shù)\型號(hào)VPF-0305VPF-0608VPF-0812VPF-1216VPF-1320VPF-1520VPF-161636
      工作區(qū)尺寸 φ×H(mm)300×500600×800800×12001200×16001300×20001500×20001600×1600×3600
      最高溫度(℃)2500-30002500
      溫度均勻性(℃)±5~±20
      極限真空度(Pa)1-100
      壓升率(Pa/h)0.67

      以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

      真空高溫純化爐配置選擇

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      半導(dǎo)體材料熱工裝備

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